2. Ｈ−７６００における試料自動検索システムとその応用

○長沖　功、中沢 英子*
(日立製作所　計測器グループ *日立サイエンスシステムズ)

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）において、試料グリッド上の視野から、目的のサンプルを探し出すには、かなりの時間を要する。最近では、パソコンを用いた試料ステージ制御や観察位置のメモリ機能などを活用して、ＴＥＭ本体の操作性を向上させることにより、試料の検索作業の軽減されつつあるが、未だにオペレータの手作業によることろが多い。今回我々は、一連の検索作業の軽減を目的として、Windows98を搭載した120kV Bio-TEM H-7600用試料自動検索機能を開発した。

　本機能は、ＴＥＭ像をＴＶカメラにて撮影し、そのデジタル画像を基に、予め入力したパラメータ（粒子径、楕円率）に合うサンプルを試料ステージと連動して自動的に検出し、計測するものである。更に、検出した画像とそのグリッド上での位置情報とを連動してメモリーし、必要に応じてＴＥＭ像を撮影することも可能である。表１に本システムの仕様、図１に、本システムの構成を示す。図2は、ネガティブ染色したアデノウィルスのＴＶ画像と計測例である。

図1　資料自動検索システムの構成
図2　資料自動検索システムの構成 資料） ネガティブ染色したアデノウイルス	表１ 試料自動検索システムの仕様 項目 仕様 適応倍率 ×8,000以上 検索対象の粒子径 10nm以上 画像サイズ 640×480（256色） 画像データ TIFFフォーマット 画像処理時間 １画面／秒 TVカメラ リアルタイム方式